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【中国阀门网】 6月21日，美国Swagelok半导体服务公司在上海国际会议中心举行媒体见面会，宣布已面向半导体产业推出一款全新的阀产品---Swagelok @ AID系列阀。据了解，Swagelok@ALD系列阀是应用于原子层沉积（ALD）工艺的超高纯度气动阀。ALD技术是半导体产业的一项新兴沉积技术，也是半导体处理技术中发展速度最快的一个领域。为了达到ALD的严格要求，Swagelok的ALD系列阀具备了以下优势：该阀的制动速度极快，制动时间不超过5豪秒；具有极高的循环寿命---在产品评估是循环次数超过了25000000。 (来源：互联网) |
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