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     南京苏源热电有限公司一期2台135MW机组的电气液压(EH)系统采用高压抗燃油系统，油动机用来控制汽轮机进汽阀门的开度。油动机上的伺服阀将汽轮机控制系统(DEH)的电气信号转换成控制伺服阀滑阀的位移，通过改变油动机下缸的高压抗燃油的进油及泄油量，控制油动机行程位置。DEH控制系统采用的是上海FOXBORO公司的I/A series系统，伺服卡为上海汽轮机厂自控中心的SVP-H卡，伺服阀使用美国穆格公司MOOGJ761-003伺服阀。1号机自2004年6月投产以来，经常会发生3号高压调节汽门抖动现象，在改为滑压运行后不久，3号调节汽门突然发生高步抖动。在DEH操作站强置3号调节汽门为手动方式，3号调节汽门仍然抖动，这一故障现象可以排除DEH控制系统及伺服卡故障原因。在排除汽门位置发送器LVDT故障以后，确定抖动是由于伺服阀的故障原因造成的，经更换伺服阀后，3号调节汽门工作正常。
一、故障原因分析
1.1 故障分析
     从故障现象可知，调门的抖动是由于油动机油缸不断处于进油和回油两种状态，而DEH开阀或关阀指令不变时，在伺服卡与伺服阀构成的闭环系统中(图1)，DEH指令与反馈信号在伺服卡经过PI运算是能够消除偏差而进行稳态的，伺服卡与伺服阀的闭环系统在调试中经过参数整定，在故障前汽机的运行方式是滑压运行，3号调节汽门是开足的，此时DEH指令是不变化的，故调门抖动故障原因由伺服阀引起。而此时伺服阀不能进入平衡状态说明伺服阀定位精度下降，引起闭环系统振荡。
                         
1.2 MOOG J761-003伺服阀内部结构及工作原理
伺服阀内部结构见图2
                   
MOOG J761-003伺服阀是喷嘴挡板式伺服阀。由两级液压放大及机械反馈系统所组成。第一级液压放大是双喷嘴和挡板系统；第二级功率放大是滑阀系统。调节汽门的油动机是单侧作用、推式的，油动机活塞杆与调节汽门相连，活塞杆向上移动为开阀，调节汽门上部重型弹簧使调节汽门保持在关闭位置，如图2所示，调节汽门的开启是控制伺服阀的滑阀凸肩1打开连通EH压力油的进油口，接通了连通着调节汽门油动机下缸的油口，油动机下缸的进油量多少决定了调节汽门的开度，油动机下缸进油量增加，压力升高，推动活塞上移，活塞杆上移带动调节汽门上移，克服调节汽门上部重型弹簧的作用力开至要求的位置，实现了调节汽门的开启控制;而调节汽门的关闭是控制伺服阀的滑阀凸肩2打开与有压回油相通的泄油口，使之与调节汽门油动机下缸油口相通，油动机下缸的泄油量决定调节汽门的关阀量，油动机下缸泄油，压力下降，活塞下移，在调节汽门上部重型弹簧作用下，将调节汽门关至所要求的位置。