公 告 名 称 ： 等离子增强化学气相淀积系统招标公告
招 标 编 号 ： 0730-0640GD041402
加 入 日 期 ： 2006.07.13
截 止 日 期 ： 2006.08.02
招 标 机 构 ：
公 告 类 型 ： 招标公告
所 属 行 业 ： 电子通信
地 区 ： 上海市

招标公告

项目名称:0730-0640GD041402/01 曝光机 5台;0730-0640GD041402/02 等离子增强化学气相淀积系统 3套;0730-0640GD041402/03 等离子增强化学气相淀积系统（一层膜）1套;0730-0640GD041402/04 阵列黄光制程清洗机-涂布机-显影机系统 5套

日期：2006年07月13日

招标编号：0730-0640GD041402

中航技国际经贸发展有限公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。现邀请合格投标人参加投标。

1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
招标编号：0730-0640GD041402/02
招标产品的名称、数量及主要技术参数：
等离子增强化学气相淀积系统
*7.3.1.2.1单台设备月产能：≥ 15000 片 (PECVD-三层膜)
*7.3.1.2.2单台设备月产能：≥ 30000 片 (PECVD-一层膜)
*7.4.1基板尺寸：730X920 mm
基板厚度：1.1mm,0.7mm,0.63mm或 0.6mm ， 0.5mm
7.4.2设备生产0.4 mm基板的可行性。
7.4.4设备可用于生产SiNx, a-Si, n+ a-Si薄膜。
*7.4.5下列组件必须有安全联动的互锁装置：
— 气体供应
— 射频电源
— 真空阀门
— 基座过热防护

2、招标文件售价：0730-0640GD041402/02标书售价:15000元人民币.

3、购买招标文件时间：即日起至投标截止时间止，每天08:30-16:00，节假日除外

4、购买招标文件地点：

5、投标截止时间和开标时间：2006-08-02 10:00:00

6、开标地点：